中文名称：显微光电测量仪

英文名称：Photocurrent analyzer

仪器型号：实验室搭建

生产厂家：Nikon, Stanford Research Systems 等

样品要求：器件沟道尺寸>2微米

主要配件：激光器、显微镜、电流源表、锁相放大器等

性能指标：电流分辨率<1 pA；电压分辨率<1 nV；激光波长532 nm，633 nm，1550 nm；空间分辨率500 nm；扫描速度~400 ms/point

主要应用：微纳米器件的光电响应分析