最小测试漏电流为10-12 A，探针曲率半径为0.5 μm，显微镜最大放大倍率为400倍，配合电学测试系统，适合测量1微米或以上线宽的器件的电学性质，最多可以进行四极测量。可用于大尺寸硅片（最大6英寸）或集成器件检测，能进稳定和精确的移动和探针测量。

 

最小测试漏电流为10-12 A，探针曲率半径为0.5μm，显微镜最大放大倍率为400倍，配合电学测试系统，适合测量1微米或以上线宽的器件的电学性质，最多可以进行四极测量。可用于大尺寸硅片（最大6英寸）或集成器件检测，能进稳定和精确的移动和探针测量。