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仪器设备

 

最小测试漏电流为10-12 A,探针曲率半径为0.5 μm,显微镜最大放大倍率为400倍,配合电学测试系统,适合测量1微米或以上线宽的器件的电学性质,最多可以进行四极测量。可用于大尺寸硅片(最大6英寸)或集成器件检测,能进稳定和精确的移动和探针测量。
 

 

最小测试漏电流为10-12 A,探针曲率半径为0.5μm,显微镜最大放大倍率为400倍,配合电学测试系统,适合测量1微米或以上线宽的器件的电学性质,最多可以进行四极测量。可用于大尺寸硅片(最大6英寸)或集成器件检测,能进稳定和精确的移动和探针测量。

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