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中心设施
仪器设备

 

规格与技术指标:极限真空度5×10↑-6mbar;电子束和热阻两种方式;中心Z"测量面积内膜厚平均不均匀性不超过±5.0%;3KVA。

主要应用:可进行可控厚度薄膜的沉积

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